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多口电子束源

产品描述

4 pocket 设计,大大减少了填料次数;

适合难熔金属,如钽、钼、钨的蒸镀或掺杂;

带束流监控模块,可在较长时间内保持束流的稳定性;


参数

加热丝类型:掺杂钨丝;

加热丝发射电流:300 mA;

棒材偏压:2 KV;

棒料直径: 6 mm;

棒料送料长度:50 mm;

棒料温度:3500 ℃;

真空内长度:290 mm;

安装法兰:DN40CF;

烘烤温度:250℃;

内置水冷;

内置手动挡板;


可蒸材料

金属材料,尤其是难容金属,如Ta,Mo,W

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上海永冠真空科技有限公司是一家立足上海、面向全球、基于超高真空应用领域的产品研发、制造、销售和服务为一体的科技创新型企业。公司成立于2010年,经过十多年的发展,现拥有以海内外博士...

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