蒸发源

产品描述4 pocket 设计，大大减少了填料次数；适合难熔金属，如钽、钼、钨的蒸镀或掺杂；带束流监控模块，可在较长时间内保持束流的稳定性；参数加热丝类型：掺杂钨丝；加热丝发射电流：300 mA；棒材偏压：2 KV；棒料直径： 6 mm；棒料送料长度：50 mm；棒料温度：3500 ℃；真空内长度：290 mm；安装法兰：DN40CF；烘烤温度：250℃；内置水冷；内置手动挡板；可蒸材料金属材料，尤其是难容金属，如Ta，Mo，W

产品描述最高工作温度可达2000℃，满足了一些高熔点材料的蒸发需求；采用自支撑灯丝，极限工况下仍可保证较高的寿命；高温区全部为钽或者钨金属，无陶瓷部件，保证了束源炉工作时较低的放气率；参数温度范围：800-2000℃；最高除气温度：2000℃；温度稳定范围：±0.1℃；热偶类型：C型（W5Re / W26Re）；真空内部长度：290mm；安装法兰，DN40CF； 坩埚容积：10cc；烘烤温度：250℃；内置电极水冷；不带挡板；可蒸材料Ti，Ce，La，Si，Fe，Cr，Ni，Co， Ge

产品描述适用于多种元素和化合物的蒸发或升华，例如典型的III/V族材料；多种加热类型可选，如标准的钽加热灯丝，热口加热丝，冷口加热灯丝；参数温度范围：100-1100℃ / 300-1400℃；最高除气温度：1100℃ / 1400℃；温度稳定范围：±0.1℃；热偶类型：K型 / C型（W5Re / W26Re）；真空内部长度：290mm；安装法兰，DN40CF； 坩埚容积：10cc；烘烤温度：250℃；内置水冷；内置手动挡板；可蒸材料Ga，In，Al，Si，Be，Cu，Au，CaF2